第九届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS)将于10月14-15日在深圳与湾芯展同期举办！本次研讨会由中国集成电路创新联盟、中国光学学会主办，中国科学院微电子研究所、深圳市半导体与集成电路产业联盟（深芯盟）、南京诚芯集成电路技术研究院有限公司联合承办，诚邀全球业界精英共赴这场光刻技术领域的学术盛宴！

国际先进光刻技术研讨会（IWAPS），依托中国创新沃土，搭建全球交流平台。在国内外光刻专家的鼎力支持下，在全球企业、高校、协会等的共同推动下，IWAPS持续构建覆盖光刻设备、工艺制程、计量检测、掩模材料、计算光刻、系统协同优化及新型技术等全产业链的尖端技术对话平台。

本届盛会特别依托深芯盟的产业集群优势，汇聚深圳及湾区半导体企业、高校与科研机构的协同力量；同时联动湾芯展的产业生态资源，为全球领军企业提供展示创新蓝图的舞台，为科研院所搭建核心技术攻关的交流通道，为青年学者创造技术思辨的活跃氛围，更为投资机构提供洞察粤港澳大湾区半导体机遇的前瞻窗口。

会议基本信息

第九届IWAPS计划于
2025年10月14-15日 在深圳
与湾芯展同期举办
请于10月13日报到
欢迎各位学术和产业届的朋友
莅临指导，积极投稿演讲

SPIE（国际光学工程学会）简介

SPIE（国际光学工程学会）成立于1955年，是一个致力于光学和光电子学的国际专业组织。总部位于美国华盛顿州贝灵厄姆，SPIE的使命是推进光学和光电子技术的科学、应用、教育和商业。SPIE每年举办多个国际会议和展览，为科学家、工程师和企业提供展示最新研究成果和技术的平台。此外，SPIE Digital Library是全球最大的光学和光电子学文献数据库之一，提供了丰富的学术期刊、会议论文集和书籍，覆盖光学、光电子学、激光技术、生物医学光学等领域。这些资源和活动不仅促进了全球光学和光电子学的发展，也推动了创新技术的应用和专业人才的培养。

本届IWAPS接收论文将被
送检SPIE Digital Library及EI
欢迎大家踊跃报名！

征稿范围

i.Optical Lithography

ii.Emerging Patterning Technologies

iii.Metrology, Inspection and Testing

iv.Computational Lithography

v.Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability

vi.Materials

vii.Process

摘要要求

摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。
摘要必须包括以下内容：论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时，我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。
摘要截至日期：2025年7月31日
摘要提交邮箱：
iwaps_program@ime.ac.cn
摘要录用通知日期：2025年8月21日

全文要求

论文摘要被接收后，作者需要按照全文模板的要求提交最终论文。论文全文模板参考SPIE会议标准模板。论文投稿方式待系统开通后公布（ 将使用SPIE投稿系统，请务必注意时间节点 ）。若有问题，欢迎联系会务邮箱： iwaps_program@ime.ac.cn。
本届会议论文将被送检SPIE Digital Library及EI，请务必在截止日期前投稿全文，否则不予送检，请严格参考模板格式。
全文提交截止日期 2025年9月30日

往届精彩回顾

IWAPS 2017 北京

IWAPS 2018 厦门

IWAPS 2019 南京

IWAPS 2020 成都

IWAPS 2022 北京 线上

IWAPS 2022 北京 线上

IWAPS 2023 丽水

IWAPS 2024 嘉兴

往年论文集

IWAPS 2020：
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding
IWAPS 2021：
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding
IWAPS 2022:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
IWAPS 2023:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/10365714/proceeding
IWAPS 2024:
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-SPIE/13423.toc

IWAPS 2025 会议筹备工作已经展开，更多信息，敬请关注会议官网：www.iwaps.org/cn，以及“光刻人的世界”微信公众号，我们会随时更新。