乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司

2025-02-21 17:48:46


乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司是由在日本东证一部上市并从事半导体晶圆传输近40年经验的RORZE Corporation在中国设立的全资子公司,专门从事半导体晶圆传输设备的制造、销售、研发与售后维修。RORZE Corporation自1985年成立以来一直专注于晶圆传输机器人及相关自动传输用的组件和大型自动传输设备的研发,制造和销售业务。

2022年10月建立中国工厂,工厂坐落于上海临港新片区,总建筑面积6600㎡,包含1800㎡的标准万级洁净室。公司旨在扎根中国,与客户协同创新。
我们掌握晶圆传输所需要的Robot,Load Port及Aligner组件从软件到硬件的核心技术。公司创始人崎谷文雄先生发明了世界上第一款,自此大大提升了芯片制造过程的良率,由此RORZE的产品在业界得到广泛的好洁净传输机器人。
公司主要产品:EFEM、SORTER、N2BWS、ALP等,被广泛应用于集成电路生产线上。根据实际应用场景,可以单独使用,也可以跟工厂自动化对接实现晶圆的上下料自动传输,还可以跟刻蚀、CVD、PVD、光刻、检测等各种制程设备搭载使用。